氧化鈮靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。 河北東同光電接下來告訴我們具體的清潔方法吧。
金屬靶材可以通過四步清潔，
第一步用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔；
第二步與第一步類似用酒精清潔；
第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無絨布”進行清潔。
第四步在清除完有污垢的區域后，再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材， 以除去所有可能在濺射系統中會造成起弧的雜質微粒。
以上新聞是氧化鈮靶材的清潔與保養，由河北東同光電科技有限公司編輯部編輯，詳詢請登錄官網http://m.as-ch.cn/